Technológia mikroobrábania je veľmi flexibilný proces, ktorý dokáže vyrábať mikrosúčiastky zložitých tvarov. Okrem toho sa dá aplikovať na širokú škálu materiálov. Vďaka svojej prispôsobivosti je obzvlášť vhodný pre rýchlu prevádzku od nápadu po prototyp, výrobu zložitých 3D štruktúr a iteratívny dizajn a vývoj produktov,
1. Technológia fyzikálneho mikroobrábania
Spracovanie laserovým lúčom: proces spracovania, ktorý využíva tepelnú energiu vedenú laserovým lúčom na odstránenie materiálov z kovových alebo nekovových povrchov. Je vhodnejší pre krehké materiály s nízkou vodivosťou, ale dá sa použiť na väčšinu materiálov.
Spracovanie iónovým lúčom: dôležitá nekonvenčná výrobná technológia pre mikro/nano výrobu. Využíva zrýchlený tok iónov vo vákuovej komore na odstránenie, pridanie alebo úpravu atómov na povrchu objektu.
2. Technológia chemického mikroobrábania
Reaktívne iónové leptanie (RIE): plazmový proces, pri ktorom sú látky excitované vysokofrekvenčným výbojom na leptanie substrátov alebo filmov v nízkonapäťovej komore. Ide o synergický proces chemicky aktívnych látok a vysokoenergetického bombardovania iónmi.
Elektrochemické obrábanie (ECM): metóda odstraňovania kovov elektrochemickými procesmi. Zvyčajne sa používa na veľkosériovú výrobu a spracovanie extrémne tvrdých materiálov alebo materiálov, ktoré sa ťažko spracovávajú tradičnými metódami. Jeho použitie je obmedzené na vodivé materiály. ECM môže rezať malé alebo nepravidelné uhly, zložité obrysy alebo dutiny v tvrdých a vzácnych kovoch.
3. Technológia mechanického mikroobrábania
Diamantové sústruženie: proces sústruženia alebo obrábania presných komponentov sústruhom alebo derivačným strojom vybaveným prírodným alebo syntetickým diamantovým bitom.
Diamantové frézovanie: proces rezania, ktorý možno použiť na vytvorenie poľa asférických šošoviek kruhovým rezaním pomocou sférického diamantového nástroja.
Presné brúsenie: abrazívne opracovanie, ktoré umožňuje opracovanie obrobku na jemnú povrchovú úpravu s veľmi tesnou toleranciou 0.0001 ".
Leštenie: abrazívne spracovanie, leštenie argónovým iónovým lúčom je pomerne stabilný proces, ktorý sa používa na konečnú úpravu zrkadiel ďalekohľadov a korekciu zvyškových chýb mechanického leštenia alebo optických zariadení na sústruženie diamantom. Proces MRF je prvý deterministický proces leštenia. Komercializované a používané pri výrobe asférických šošoviek, reflektorov atď.
